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珂玛科技(ji)7.5亿元可转(zhuan)债获厚交(jiao)所通过 加(jia)速半导体先进陶瓷国产替代进程 | A股(gu)融资快报

2月6日，深圳证券交(jiao)易所上市审核委员会召开第6次审议会议，正式审议并通过了苏州(zhou)珂玛质料(liao)科技(ji)股(gu)份有限公司（证券简称：珂玛科技(ji)，代码：301611.SZ）向不特定(ding)工具刊行(xing)可转(zhuan)换公司债券的请求。此次可转(zhuan)债刊行(xing)范(fan)围不超过群众币7.5亿元，标志着珂玛科技(ji)在(zai)国产半导体供应链(lian)自主化进程中迈出枢纽一步。

作为国内先进陶瓷质料(liao)及零部件的领军企业，珂玛科技(ji)自2009年成立(li)以来，始终聚焦于半导体设备前道工艺中高精度、高靠得(de)住性陶瓷零部件的研发与(yu)制造(zao)。公司掌握氧化铝、氧化锆(gao)、氧化钇、氧化钛、氮化铝、碳化硅等六大类底子质料(liao)系统(tong)，累计开辟超万款定(ding)制化零部件，产物遍及应用于刻蚀、薄膜(mo)沉积(ji)、离子注入、光刻及氧化扩散等核心制程设备，部分零部件直接接触晶圆，技(ji)术门槛极(ji)高。现(xian)在(zai)，公司已通过南(nan)方华创、中微公司、拓荆科技(ji)、上海微电子等国内主流半导体设备厂商的认证，并实现(xian)批量供货，是国内少数实现(xian)高端陶瓷部件国产替代的供应商之一。

本次可转(zhuan)债募投项目聚焦“结构功能模块化陶瓷部件产物扩建”与(yu)“半导体设备用碳化硅质料(liao)及部件”两慷慨(kai)向。个中，结构功能模块化陶瓷部件产物扩建项目拟(ni)投入募集(ji)资金4.88亿元，重点建设静电卡盘专用产线并扩大陶瓷加(jia)热器产能。项目达产后，估(gu)计年均新增(zeng)贩卖收入5.78亿元，税后内部收益率17.82%，投资回收期7.60年（含建设期），产物将笼盖SACVD、PECVD、ALD、PVD、激光退火和刻蚀等主流设备类型，提升(sheng)公司在(zai)高端功能部件领域的供应本领。